流量大,15-300SLPM
? 受腐蝕的部位采用哈氏合金,適用于惰性氣體及腐蝕性強(qiáng)的氣體
? 過(guò)濾等級(jí)為0.0025μm,即使在高流速的情況下,也不會(huì)引起出口端壓力的下降
? 內(nèi)部拋光等級(jí)為5Ra,防止其內(nèi)部污染
? 通過(guò)高溫氮?dú)饧叭ルx子水清潔,滿足半導(dǎo)體行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn) cess
? 清潔及包裝在100級(jí)潔凈室內(nèi)
TKSCT過(guò)濾器