流量大,15-300SLPM
? 受腐蝕的部位采用哈氏合金,適用于惰性氣體及腐蝕性強的氣體
? 過濾等級為0.0025μm,即使在高流速的情況下,也不會引起出口端壓力的下降
? 內部拋光等級為5Ra,防止其內部污染
? 通過高溫氮氣及去離子水清潔,滿足半導體行業的標準 cess
? 清潔及包裝在100級潔凈室內
TKSCT過濾器
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TKSCT過濾器
產品屬性
產品優勢 韓國TKSCT過濾器
詳細信息 流量大,15-300SLPM
? 受腐蝕的部位采用哈氏合金,適用于惰性氣體及腐蝕性強的氣體 ? 過濾等級為0.0025μm,即使在高流速的情況下,也不會引起出口端壓力的下降 ? 內部拋光等級為5Ra,防止其內部污染 ? 通過高溫氮氣及去離子水清潔,滿足半導體行業的標準 cess ? 清潔及包裝在100級潔凈室內 相關產品 共0條 相關評論 ![]() |