●X、Y、Z三軸步進伺服控制,定位精度高速度快,X、Y速度可達180mm/s,運行平穩
● 采用自主開發的嵌入式模塊控制系統,將負責的控制系統集成于儀器內部,穩定性更高
● 程控恒流驅動式四環四區表面冷光光源,可適應復雜的工件測量
● 具有快速自動對焦,自動尋邊,強大的編程和自動測量功能
● 采用亞像素細分技術,提高邊界分辨能力
● 在線SPC數據處理分析,大批量治具測量
● 采用花崗石低座,性能穩定,不易變形
● 激光指示器指示測量位置,快速定位
● 可選配自動變倍功能,無需要重復像素校正實現多倍率下高效測量