日本JSK真空發生器
產品簡介:
應用行業:半導體、太陽能、液晶面板制造等行業,或者其他一些有超高純流體要求的行業.
應用流體:特氣二次配管系統,設備和機臺里面的超高純氣體、易燃易爆氣體以及有毒氣體等特種電子氣體.
工作壓力:60-80PSI
流量:對于氮氣,在壓力為80PSIG的條件下,流量2.7 scfm
工作溫度:121℃
膜片密封和CTFE閥座致使在氦檢的時候泄漏率也只達到1x 10 scc/s.
內側和閥座旁邊均經過了氦檢.
連接尺寸:3/8" 1/2"
在10級潔凈廠房吹掃并終包裝