【產品概述】：
干式真空泵維修是具有耐腐蝕性能的泵，是專為輸送含有細顆粒的腐蝕性介質而設計開發的，因為其獨特的生產設計，使其具有耐磨性、耐沖擊性、 抗蠕變性和極好的耐腐蝕性，干式真空泵在使用一段后都是需要進行內部清理，這也是為了延長它的使用時間，保證使用效果，進行內部清理的時候需要做的工作有以下幾點。
1、刮去葉輪內外表面及密封環和軸承等處所積存的水垢及鐵銹等物，再用水或壓縮空氣清洗、吹凈。
2、清理殼體各接合表面上積存的油垢和鐵銹。
3、檢查管內是否暢通并清理水封管。
4、清理軸瓦及軸承，除去油垢，再清洗油圈及油面計等，滾珠軸承要用汽油清洗。
5、暫時不進行裝配的零、部件，在清洗后都要及時的涂油保護。
干式真空泵維修的內部清洗不僅是可以延長泵的使用壽命更重要的是可以減少企業損失，保證生產的順利進行。

【產品應用】：
干式真空泵的應用是廣泛的，主要有以下幾個方面：
1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。