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在超精密加工中，為了要加工出形狀精度高的非球曲面，要求超精機床的進給驅動系統有很高的分辨力，達到每脈沖移動量為0.01μm，國外已有幾家大公司擁有該產品，但對我國禁運。目前國內國防科技大學、哈爾濱工業大學、清華大學等正開展此方面的研究。超聲波電動機具有小型輕量、響應速度快、無電磁干擾以及低速大轉矩等特點，行程在10cm范圍內可取代傳統的電磁電機。帶有反饋閉環控制的步進驅動超聲電動機，其步進分辨率約0.01μm，有望代替機械式摩擦驅動方式。日本東京大學研制的聲表面波式直線USM，步進分辨力高達5nm。 　　2.3 在異形截面加工領域中的應用 

　　采用直線電機的直線運動，運動機構由于具有響應快、精度高的特點，已成功地用于異型截面工件（汽車發動機活塞、波瓣形軸承外環滾道、活塞環及凸輪等）的計算機控制的精密車削和磨削加工。與傳統的采用“靠模”加工異型內外圓輪廓的方法相比，具有編程修改靈活、加工精度高的特點，十分適合多品種、小批量產品的加工。